电工技术学报  2021, Vol. 36 Issue (15): 3163-3171    DOI: 10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.201611
高电压与等离子体专题 |
基于直流辉光放电等离子体的气体压力传感器
李帆1,2,3, 罗海云4, 杜娟1,2,3,5, 聂超群2,3,5
1. 中国科学院轻型动力创新研究院 北京 100190;
2. 中国科学院先进能源动力重点实验室(工程热物理研究所) 北京 100190;
3. 中国科学院工程热物理研究所先进燃气轮机实验室 北京 100190;
4. 清华大学电机系气体放电与等离子体实验室 北京 100084;
5. 中国科学院大学 北京 100190
Pressure Sensor Based on Direct Current Discharge Plasma
Li Fan1,2,3, Luo Haiyun4, Du Juan1,2,3,5, Nie Chaoqun2,3,5
1. Innovation Academy for Light-duty Gas Turbine CAS Beijing 100190 China;
2. Key Laboratory of Advanced Energy and Power Institute of Engineering Thermophysics (IET) Chinese Academy of Sciences (CAS) Beijing 100190 China;
3. Advanced Gas Turbine Laboratory IET CAS Beijing 100190 China;
4. Gas Discharge and Plasma Laboratory Department of Electrical Engineering; Tsinghua University Beijing 100084 China;
5. University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100190 China